我國變壓吸附法制氧技術(shù)的發(fā)展起步較早，自1966年開始研究沸石分子篩空氣分離技術(shù)以來，psa 空氣分離系統(tǒng)已廣泛應(yīng)用于鋼鐵、冶煉、玻璃熔窯等行業(yè)。制氮機(jī)廠家空氣為原料，以優(yōu)質(zhì)碳分子篩為吸附劑，運(yùn)用變壓吸附原理(PSA)，利用充滿微孔的分子篩，對空氣進(jìn)行選擇性吸附，以達(dá)到氧氮分離的目的。制氮機(jī)按變壓吸附技術(shù)設(shè)計(jì)、制造的氮?dú)獍l(fā)生設(shè)備。近20年來，由于技術(shù)力量分散和缺乏溝通，我國變壓吸附技術(shù)發(fā)展緩慢，與國外的差距不斷擴(kuò)大。制氮機(jī)按變壓吸附技術(shù)設(shè)計(jì)、制造的氮?dú)獍l(fā)生設(shè)備。20世紀(jì)70年代是我國變壓吸附分離空氣制氧技術(shù)發(fā)展的高峰期，10多個單位對變壓吸附制氧技術(shù)進(jìn)行了試驗(yàn)研究，建立了多套工業(yè)試驗(yàn)裝置。

這個時期開發(fā)的變壓吸附制氧設(shè)備的共同點(diǎn)有以下幾個方面：

大多都是采用成本高于標(biāo)準(zhǔn)大氣壓吸附、常壓解吸操作流程，吸附塔有兩個到四個；

前空氣進(jìn)入吸附塔，脫水預(yù)處理;

設(shè)備進(jìn)行可靠性差，不能連續(xù)穩(wěn)定發(fā)展運(yùn)行，導(dǎo)致企業(yè)大部分設(shè)備報(bào)廢；

技術(shù)、絶対収益。